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切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
更新時(shí)間:2025-11-4熱點(diǎn)推薦
切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率

在半導(dǎo)體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學(xué)氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護(hù)氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場(chǎng)制氫、純度高(≥99.9999%)、無(wú)鋼瓶風(fēng)險(xiǎn)等優(yōu)勢(shì),成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而,其核心部件對(duì)水質(zhì)、溫度與運(yùn)行狀態(tài)敏感,只有通過科學(xué)、系統(tǒng)的定期維護(hù)半導(dǎo)...

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  • 2021-11

    17

    使用液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器別忘了給予其正確的維護(hù)保養(yǎng)

    液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器是分離空氣,電解膜的負(fù)極側(cè)發(fā)生氧化反應(yīng),吃掉空氣中的氧化性氣體,在正極側(cè)還原,空氣流過電解池后就只剩下氮?dú)夂投栊詺怏w,故國(guó)內(nèi)發(fā)生器的純度大多標(biāo)有“相對(duì)含氧量”,氮?dú)獾募兌群涂諝饬魉伲行Х纸饷娴拈L(zhǎng)度,電解電勢(shì)的強(qiáng)弱都有關(guān)系。該設(shè)備操作維護(hù)方便、運(yùn)行成本較低、裝置適應(yīng)性較強(qiáng)等特點(diǎn),故在1000Nm3/h以下氮?dú)獍l(fā)生器中頗具競(jìng)爭(zhēng)力,越來(lái)越得到中、小型氮?dú)庥脩舻臍g迎,已成為中、小型氮?dú)庥脩舻姆椒āO旅嫘【幰c大家分享的是液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器的維護(hù)保養(yǎng)方法:1、按儀器...

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  • 2021-10

    12

    零級(jí)空氣發(fā)生器使用中的這些注意事項(xiàng)你都知道嗎?

    零級(jí)空氣是一種常見的氣體混合物,成分主要由氧和氮組成,零級(jí)空氣可采用不同的方法脫除干燥空氣中的二氧化碳和其他痕量雜質(zhì)(如烴類、水分、氮氧化合物等)獲得。零級(jí)空氣發(fā)生器是一種凈化空氣源的裝置,通過對(duì)壓縮空氣中的總碳?xì)浠衔镞M(jìn)行催化裂解產(chǎn)生低于0.1ppm碳?xì)浠衔锏牧慵?jí)空氣,在含有鉑鈀載體的加熱催化器中碳?xì)浠衔锉晦D(zhuǎn)化為二氧化碳和水蒸氣。儀器內(nèi)部采用硅橡膠圈(含硫量低),有效提高氣體質(zhì)量,保證色譜基線平穩(wěn)。零級(jí)空氣發(fā)生器使用中的注意事項(xiàng):1、為了確保氣體純度,零級(jí)空氣發(fā)生器每工...

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  • 2021-9

    7

    氮?dú)獍l(fā)生器夏季降溫小妙招

    氮?dú)獍l(fā)生器通常有PSA制氮和膜分離法,采用了檢測(cè)光錐技術(shù),靈敏度高;包被型輔助載氣提高檢測(cè)靈敏度,避免檢測(cè)池污染;低溫霧化和蒸發(fā),同時(shí)檢測(cè)半揮發(fā)性和不揮發(fā)性化合物,對(duì)熱不穩(wěn)定化合物亦有較好的靈敏度;高精度溫度和壓力控制,保證分析精度高精度信號(hào)采集;精密電源可以滿足儀器穩(wěn)定工作的要求;同時(shí)強(qiáng)大的軟件控制功能:溫控處理,氣體流量閉環(huán)控制,溫度、壓力、流量、PMT信號(hào)的數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理等。夏季對(duì)于很多設(shè)備來(lái)說都是“不友好”的,因?yàn)楦邷貢?huì)影響到他們的正常使用,氮?dú)獍l(fā)生器也不例外,那...

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  • 2021-7

    26

    氫氣發(fā)生器的過濾管安裝技巧分享

    氫氣發(fā)生器在直流電的電解作用下,電解氫氧化鉀或氫氧化鈉水溶液,獲得氫氣與氧氣。氧氣在陽(yáng)極產(chǎn)生,直接排空;氫氣在陰極產(chǎn)生,通過過濾,去除水分,得到高純的氫氣。氫氣通過光電耦合器控制輸出的壓力,及氣相色譜儀器所需氫氣流量。根據(jù)以上原理生產(chǎn)出符合氣相色譜儀器所需要的穩(wěn)定的壓力及流量的高純度的設(shè)備。氫氣發(fā)生器的過流二級(jí)保護(hù)裝置,安全可靠。通過電解KOH的水溶液制備氫氣。機(jī)器內(nèi)設(shè)有多種智能控制裝置,使用安全方便。儀器智能化預(yù)警保護(hù)系統(tǒng),確保用氫安全,具有低水位報(bào)警、缺水自動(dòng)停止產(chǎn)氫、氫...

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  • 2021-7

    16

    氣相色譜專用氫氣發(fā)生器停機(jī)自檢工作

    在使用過程中,很多人都會(huì)重視氣相色譜專用氫氣發(fā)生器使用中的規(guī)范,卻忽略了其停機(jī)時(shí)的規(guī)范,今天普拉勒就帶大家一起來(lái)看看氫氣發(fā)生器停機(jī)時(shí)的操作步驟。氣相色譜專用氫氣發(fā)生器開機(jī)時(shí),先用原料氫置換系統(tǒng),從閥放空,待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后,根據(jù)用戶的原料氫內(nèi)的含氫量和所需高純氫量,來(lái)選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量,然后再通電加熱鈀管,從閥2流出高純氫。調(diào)溫方法,可根據(jù)隨機(jī)所帶的說明書進(jìn)行溫度設(shè)定。從鈀擴(kuò)散制得的高純氫到實(shí)際獲得的高純氫,需要置換閥前管線的一段時(shí)間,通常約需2-3小時(shí)...

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  • 2021-6

    29

    氫氣發(fā)生器的高穩(wěn)定性離不開用戶的以下操作

    在實(shí)際使用中,為了增強(qiáng)氫氣發(fā)生器的運(yùn)行穩(wěn)定性,以下注意事項(xiàng)是需要每一個(gè)用戶都重視的,今天小編簡(jiǎn)單為大家做一個(gè)介紹。1、首先,設(shè)備啟動(dòng)前需要做好充分的準(zhǔn)備工作:加入氫氧化鉀電解液,充分?jǐn)嚢枞芙獾入娊庖?冷卻后再倒入儲(chǔ)液桶中使用,然后加入高純水不要超過上限水位線,也不要低于下限水位線,擰上外蓋,液位管中的白色東西是液位管接口處的潤(rùn)滑劑,不影響使用,待整體換液后就好。2、在實(shí)際操作中,要注意流量指示是否和色譜儀的氣量一致,如果流量指數(shù)超出了色譜儀實(shí)際用量時(shí),應(yīng)立即停機(jī)檢漏,其方法可...

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  • 2021-5

    27

    選擇針頭過濾器時(shí)要考慮的因素及運(yùn)行期準(zhǔn)備工作介紹

    針頭過濾器已是實(shí)驗(yàn)室常規(guī)使用的快速、方便、可靠的過濾工具,外形美觀輕巧、潔凈度高,主要用于樣品預(yù)濾、澄清、去除顆粒、液體和氣體的除菌過濾,是過濾HPLC、GC小量樣品的選擇方式。選擇針頭過濾器要考慮的因素:該產(chǎn)品處理色譜樣品時(shí),要避免其它雜質(zhì)物在過濾過程中引入。這種雜質(zhì)物的出現(xiàn)可能為:外殼材料或?yàn)V膜會(huì)脫落顆粒物而帶入到濾液中。因而濾膜和外殼結(jié)構(gòu)的材料非常重要,不同類型的濾膜適用于不同性質(zhì)的樣品:1、親水性樣品:選用親水膜片,對(duì)水有親和力,適合過濾水為基質(zhì)的溶液。可用的濾膜有:...

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  • 2021-3

    17

    以下工作在零級(jí)空氣發(fā)生器使用前需做好

    零級(jí)空氣發(fā)生器是一套完整的系統(tǒng),由可靠性高的精構(gòu)件組成,這些構(gòu)件的設(shè)計(jì)可保證簡(jiǎn)便的安裝操作及長(zhǎng)期使用,這種發(fā)生器的安裝較之危險(xiǎn)的高壓氣體鋼瓶要簡(jiǎn)便許多,而正是一次到位,只要存在標(biāo)準(zhǔn)的壓縮空氣和電氣插座,該發(fā)生器即可運(yùn)行。該產(chǎn)品一般是由空氣泵/壓縮機(jī)、穩(wěn)壓系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成。氣路系統(tǒng)采用穩(wěn)壓和過壓保護(hù)裝置,提高了氣體壓力的穩(wěn)定性,確保了零級(jí)空氣發(fā)生器使用的安全可靠。設(shè)有排水和粉塵過濾裝置,并采用不銹鋼儲(chǔ)氣罐代替碳鋼儲(chǔ)氣罐,大大提高了壓縮空氣的純凈度,可以...

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