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切記!定期維護半導體專用氫氣發生器才能確保產線的安全與良率
更新時間:2025-11-4熱點推薦
切記!定期維護半導體專用氫氣發生器才能確保產線的安全與良率

在半導體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學氣相沉積(CVD)等關鍵環節重要的保護氣與反應氣。半導體專用氫氣發生器憑借現場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風險等優勢,成為晶圓廠潔凈室中的設備。然而,其核心部件對水質、溫度與運行狀態敏感,只有通過科學、系統的定期維護半導...

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  • 2021-2

    25

    使用氫氣發生器前的準備工作不能忘

    氫氣發生器是利用直接從空氣中提取的純氮氣和純物理分離方法,*消除了電化學分離方法對儀器腐蝕的隱患,具有使用安全,性能可靠,使用壽命長的優點。內置的壓縮泵可以連續輸出24小時的氮氣,而無需從外部連接空氣。外部空氣壓縮機的設計具有更大的可擴展性,可以減少用戶實驗室的噪聲污染,并且不需要人工護理,從而確保制氮機連續24小時安全可靠運行,這是本設備的優勢。在使用氫氣發生器前所需要做的準備工作如下:1、配置電解液:將100克氫氧化鉀KOH兌500ml蒸餾水,溶解冷卻后,取下注液口內黑色...

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  • 2021-1

    5

    高純氫氣發生器的自控系統操作方法

    高純氫氣發生器引進先進的科學技術與自己的技術實力相結合,智力開發新的產品,不斷更新換代,采用桶狀結構電解分離池,該產品具有電解面積大、產氣量大、池溫低、純度高。采用*的自動回液裝置裝置*解決了返液現象,可為國內外各種不同類型的氣相色譜儀提供燃氣或載氣。高純氫氣發生器操作簡便,安全可靠,一次性加堿,日常使用只需補充蒸餾水,啟動電源開關即可產氫;桶式電解池,電解材料選用進口特制貴金屬,有效的提高電解效率,恒定池體溫度,促使電解池使用壽命大大提高;輸出流量穩定,自動跟蹤,純度不衰減...

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  • 2020-12

    22

    學會這些 處理氫氣發生器突發情況便可不再求人

    氫氣發生器是由電解池、開關電源、電解液、壓力控制、凈化、流量顯示等系統組成。本儀器的“心臟”電解分離池陽極為筒狀,陰極為薄板形(均為不銹鋼材料)。陽極多孔分布,儲液、制氫、排氧可同時進行,且電解液循環暢通,其電解面積大、池溫低、性能好、產氣量大、純度更高,是優于板式電解池的換代品。在氫氣發生器的使用過程中,遇到設備出現問題是很正常的,對于一位合格的使用者,遇到問題了就應該學會正確處理問題,諸如:1、氫氣流量小:如遇到此情況說明需要更換電解液,可將原來的電解液全部排出,用去離子...

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  • 2020-12

    2

    設計質譜隔音罩時所需要注意的事項

    質譜隔音罩的主要結構是其罩壁,在蓋壁具有足夠的遮音量的情況下,可以遮斷音源設備的噪音,使噪音降低到規定的允許音水平以下。根據質量規律,罩墻的結構必須是重質的,如磚、石、混凝土、厚鋼板等結構。但是,在很多情況下,由于現場的空間條件、機器的維護以及隔音罩的拆裝運輸等因素,要求罩壁的結構輕、拆裝方便,該隔音罩壁一般采用薄金屬板,內裝一定厚度的吸音材料。根據插入損失的要求決定結構的隔音量,可以根據相關結構的隔音量和實際情況選擇具體的結構。蓋壁振動大時,可以在金屬板的外面或內面涂布瀝青...

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  • 2020-11

    17

    高純氮氣發生器選用不同氣體純度的一般原則介紹

    高純氮氣發生器是以電解法產生氮氣,它以氫氧化鉀水溶液為電解液,以貴金屬做電極,采用中膜分離技術將氮氣和氧氣*分離,并在電解池中采用了過渡族金屬催化技術,使產氫含氧量小于3PPM。操作氣相色譜儀如何選用不同氣體純度的氣源做載氣和輔助氣體,對氣體純度選擇的一般原則。1、從分析角度講,微量分析比常量分析要求高,也就是說,氣體中的雜質含量必須低于被分析組分的含量,如果用TCD分析10ppm的CO,則載氣中的雜質總含量不得超過10ppm,因為99.999%純度的氣體則含0.001%的雜...

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  • 2020-11

    13

    針頭過濾器是為樣品前處理過程中的重要器具

    針頭過濾器是實驗室常規使用的快速、方便、可靠的過濾工具,外形美觀輕巧、潔凈度高,因為不需要換膜和清洗濾器,省去了復雜、費時的準備工作,在實驗室中得到廣泛應用。針頭過濾器的分類也非常的多,按照液體性質分類可分為針式水相過濾器和針式有機相過濾器。按照過濾相分類可分為針式氣體相過濾器,針式液體相過濾器。按照過濾目的或工藝分類可分為針式除菌過濾器,針式澄清過濾器,針式預過濾器,針式除顆粒過濾器,等等。針頭過濾器可用于HPLC分析和IC分析中,過濾樣品溶液,為樣品前處理過程中的重要步驟...

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  • 2020-11

    3

    在為CVD氫氣發生器進行升級時所需要注意的事項介紹

    CVD氫氣發生器采用質子交換膜技術,電解去離子高純水制氫氣,同時采用變壓吸附和分子篩技術有效去除水分,產生超高純、痕量級的氫氣,為使用氫氣作GC載氣提供安全、可靠、便捷的氫氣解決方案。在使用時應注意流量指示是否與色譜儀用氣量一致,如流量指示超出色譜儀實際用量較大時,應停機檢漏,其方法參照儀器的故障原因與排除方法進行調整,再用自檢方法檢查合格后方可使用。在CVD氫氣發生器進行升級時需要注意:1、系統保護升級后,原有的保護還是必須存在的,就是壓力保護,當在線干燥塔與系統壓力差大于...

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  • 2020-10

    28

    氮氣發生器如遇這些故障可參考以下方法進行處理

    氮氣發生器將空氣做為原料,利用物理方法將其中的氧與氮分離而獲得氮氣,根據分類方法的不同,可以分為深冷空分法、分子篩空分法和膜空分法,該儀器是按照變壓吸附技術設計、制造的氮氣制取設備。采用進口碳分子篩做為吸附劑,在常溫下變壓吸附原理分離空氣制取高純度的氮氣,通常使用兩吸附塔并聯,由進口PLC控制進口氣動閥自動運行,交替進行加壓吸附和解壓再生,完成氮氧分離,獲得所需高純度的氮氣。在氮氣發生器的使用過程中,遇到設備出現故障是很正常的,作為使用者,應學會妥善處理,下面小編簡單為大家介...

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