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切記!定期維護半導體專用氫氣發生器才能確保產線的安全與良率
更新時間:2025-11-4熱點推薦
切記!定期維護半導體專用氫氣發生器才能確保產線的安全與良率

在半導體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學氣相沉積(CVD)等關鍵環節重要的保護氣與反應氣。半導體專用氫氣發生器憑借現場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風險等優勢,成為晶圓廠潔凈室中的設備。然而,其核心部件對水質、溫度與運行狀態敏感,只有通過科學、系統的定期維護半導...

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  • 2020-10

    23

    氫氣發生器的工藝原理及產品優勢特點介紹

    氫氣發生器由電解池、純水箱、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、壓力調節閥、開關電源等部件組成,是利用質子交換膜,電解去離子水產生氫氣,然后通過干燥過濾,對氣體進行干燥處理。標配各種安全功能,讓您在實驗室安枕無憂,更安全、更可靠、更便捷。本儀器使用時應注意流量指示是否與色譜儀用氣量一致,如流量指示超出色譜儀實際用量較大時,應停機檢漏,其方法參照儀器的故障原因與排除方法進行調整,再用自檢方法檢查合格后方可使用。氫分子和氫原子是所有化學元素中小的分子和原子,如把鈀的單晶結構考慮...

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  • 2020-10

    20

    氫氣發生器日常應用中的幾個經典案例

    隨著技術上的不斷提升,氫氣發生器已被廣泛用于石油、化工、電力、環保、食品、商檢、制藥、生物工程、煙草、環保、出入境檢驗檢疫、疾病控制、科研院校等領域,可連續可靠的產生純度很高的氫氣,從而使昂貴且危險的高壓氫氣鋼瓶*告別實驗室,整個過程只需去離子水和供電,即可產生氫氣,一次加水即可持續工作50天,成本低。氫氣發生器的安全、簡便性能使其替代了危險的高壓氫氣鋼瓶。氫氣發生器的幾個經典應用:1、浮法玻璃生產工藝:在玻璃工業中廣泛使用的氣體有氫、乙炔、氧和氮,浮法玻璃生產時,為使錫槽中...

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  • 2020-10

    14

    淺述氫氣發生器的常見故障及解決方法

    氫氣發生器主要由電解池、純水箱、收集器、傳感器等部件組成,通過電解KOH的水溶液制備氫氣。機器內設有多種智能控制裝置,使用安全方便,可以滿足國內外各種型號的色譜使用。本儀器使用時應注意流量指示是否與色譜儀用氣量一致,如流量指示超出色譜儀實際用量較大時,應停機檢漏,其方法參照儀器的故障原因與排除方法進行調整,再用自檢方法檢查合格后方可使用。氫氣發生器常見的故障問題有哪些?解決方法又是什么?1、發生器漏氣壓力表數值小于設定值(設定值一般為0.3MPa)或為零且輸出流量數值大于實際...

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  • 2020-10

    12

    氫氣發生器遇到電解池不電解的情況如何處理

    氫氣發生器的原理主要有兩種,分別是堿液電解制氫以及純水電解制氫,其中:1、純水電解制氫:把滿足要求的電解水(電阻率大于1MΩ/cm,電子或分析行業用的去離子水或二次蒸餾水皆可)送入電解槽陽極室,通電后水便立刻在陽極分解:2H2O=4H++2O-2,分解成的負氧離子(O-2),隨即在陽極放出電子,形成氧氣(O2),從陽極室排出,攜帶部份水進入水槽,水可循環使用,氧氣從水槽上蓋小孔放入大氣。氫質子以水合離子(H+?XH2O)形式在電場力的作用下,通過SPE離子膜,到達陰極吸收電子...

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  • 2020-9

    11

    高壓氫氣發生器在實驗室中的應用以使用

    高壓氫氣發生器在實驗室中的應用1.化學合成實驗:在有機合成領域,許多反應需要在高壓氫氣環境下進行,高壓氫氣發生器能為這些反應提供所需的高壓氫氣。例如,催化氫化反應,將不飽和化合物轉化為飽和化合物,像烯烴的加氫反應生成烷烴、羰基化合物加氫生成醇等。在一些藥物合成實驗中,通過高壓氫氣實現特定官能團的還原,從而得到目標藥物分子。2.材料研究:在材料科學實驗室,高壓氫氣可用于材料的制備和改性。例如,在制備金屬氫化物材料時,需要在高壓氫氣氛圍中使金屬與氫氣發生反應。此外,高壓氫氣還可用...

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  • 2020-8

    21

    氫氣發生器自檢合格才能與氣相色譜儀聯機使用

    氫氣發生器是一種用于產生高純度氫氣的設備,它由多個部件組成。首先,電解池是氫氣發生器的核心部分,通過電解純水來產生氫氣和氧氣。在通電后,陰極會產生氫氣,而陽極則會產生氧氣。產生的氫氣會進入氫/水分離器,將氫氣和水分離開來。然后,氫氣會經過干燥器除濕處理,并通過穩壓閥和調節閥調整到額定壓力0.02~0.45Mpa可調,最后由出口輸出。為了確保氫氣發生器的正常運行,傳感器會控制電解池的產氫壓力在0.45Mpa左右。當壓力達到設定值時,電解池的電源供應會被切斷;而當壓力下降低于設定...

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  • 2020-7

    3

    金剛石氫氣發生器助力于半導體制造技術發展

    半導體制造技術作為信息時代制造的基礎,堪比工業時代的機床,是整個社會發展的基石和原動力。在產業分工格局重塑的關鍵時期,我國也提出了《中國制造2025》,以通過智能制造實現由制造大國向制造強國的轉換,智能制造(工業4.0)的實現,以各種信息器件的使用為基礎,半導體制造技術正是其制造的核心技術。而氫氣作為半導體制造中的氣源,在半導體材料及器件制備中起到至關重要的作用。可在光電器件、傳感器、IC制造中應用。目前半導體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝,其中:退火是通過...

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  • 2020-6

    2

    大流量氫氣發生器技術特性和廣泛應用

    大流量氫氣發生器是一種能夠高效產生大量氫氣的設備,其技術特性和廣泛應用使其成為多個領域的重要工具。以下是對大流量氫氣發生器的詳細概述:一、定義與特點大流量氫氣發生器,顧名思義,是指能夠產生較大流量氫氣的設備。這類設備通常采用電解水的方法制造氫氣,具有產量大、自動化程度高、安全可靠、環保節能等特點。它們能夠持續穩定地提供高純度的氫氣,滿足各種高需求的應用場合。二、工作原理大流量氫氣發生器的工作原理基于電解水的化學反應。在電解池中,通過加入強電解質(如氫氧化鉀或氫氧化鈉)作為電解...

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