半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器由超純水機(jī)制取二級(jí)水，并儲(chǔ)存至水箱備用。氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，自動(dòng)供給至氫氣發(fā)生器。多臺(tái)氫氣發(fā)生器可串聯(lián)使用，通過串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。（以兩臺(tái)設(shè)備為例控制圖如下）

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器主要特點(diǎn)：

1、儀器的全部工作過程均由程序控制，自動(dòng)恒壓、恒流，通過串聯(lián)控制線，可實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)使用。 

2、使用固態(tài)電解質(zhì)（PEM）法產(chǎn)生氫氣，以超純凈水原料，以固體聚合物為電解質(zhì)，貴金屬做電極有效的除濕裝置，降低了原始濕度，純度穩(wěn)定。 

3、操作方便使用時(shí)只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無需泄壓，直接關(guān)閉電源即可。可連續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。 

4、安全可靠：配有安全裝置，電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，配有壓力控制，缺水自動(dòng)監(jiān)控，漏氣自動(dòng)檢測(cè)。 

5、配備純水系統(tǒng)，完成自來水進(jìn)水完成大流量的氫氣制備。

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器主要參數(shù)：