氫氣發(fā)生器由超純水機制取二級水，并儲存至水箱備用。氫氣發(fā)生器缺水時，自動供給至氫氣發(fā)生器。多臺氫氣發(fā)生器可串聯(lián)使用，通過串聯(lián)控制線由一臺發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。（以兩臺設(shè)備為例控制圖如下）

CVD/MOCVD專用氫氣發(fā)生器

氫氣發(fā)生器主要特點：

1、儀器的全部工作過程均由程序控制，自動恒壓、恒流，通過串聯(lián)控制線，可實現(xiàn)多組并聯(lián)使用。

2、使用固態(tài)電解質(zhì)（PEM）法產(chǎn)生氫氣，以超純凈水原料，以固體聚合物為電解質(zhì)，貴金屬做電極有效的除濕裝置，降低了原始濕度，純度穩(wěn)定。

3、操作方便使用時只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無需泄壓，直接關(guān)閉電源即可。可連續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。

4、安全可靠：配有安全裝置，電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，配有壓力控制，缺水自動監(jiān)控，漏氣自動檢測。

5、配備純水系統(tǒng)，完成自來水進水完成大流量的氫氣制備。

氫氣發(fā)生器主要參數(shù)：

參數(shù)編號	參數(shù)名稱	參數(shù)值
1	氫氣純度	99.9999-99.99999%
2	氫氣流量	1L-17L/min
3	輸出壓力	0-80psi（約0.5MPa）
4	壓力穩(wěn)定性	0.001MPa
5	供電電源	220V±10% 50HZ
6	消耗功率	8kw(HYDROGEN-17L)
7	純水需求	>2MΩ&1L/h
8	氫氣容積	<20L(HYDROGEN-17L)
9	環(huán)境溫度	1-40℃
10	相對濕度	<85%
11	海拔高度	<2000米
12	外形尺寸	80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L)
13	凈重	約200kg(HYDROGEN-17L)

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