英國普拉勒半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器概述
品牌背景
英國普拉勒(Peculiar)在氣體發(fā)生器制造領(lǐng)域有著較高的聲譽(yù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)，其產(chǎn)品以高品質(zhì)、高性能和高可靠性著稱。該品牌專注于研發(fā)和生產(chǎn)滿足不同行業(yè)需求的氣體發(fā)生器，在半導(dǎo)體等高端領(lǐng)域也占據(jù)一定的市場份額。
工作原理
通常采用電解水的原理來產(chǎn)生氫氣。通過施加直流電，使水分子在電解池中分解為氫氣和氧氣。在這個(gè)過程中，先進(jìn)的離子膜技術(shù)等被應(yīng)用，確保高效地分離出高純度的氫氣。例如，可能采用其研發(fā)的離子膜，有效提高電解效率和氫氣純度。
產(chǎn)品應(yīng)用
英國普拉勒半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)，在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過程中，氫氣可作為載氣、還原氣等參與到化學(xué)氣相沉積(CVD)、金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等關(guān)鍵工藝中。為半導(dǎo)體制造提供高純度的氫氣，有助于提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性，促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.高純度氫氣產(chǎn)出：能夠穩(wěn)定地產(chǎn)生高純度的氫氣，氫氣純度一般可達(dá)99.999%甚至更高，滿足半導(dǎo)體制造過程中對(duì)超純氣體的嚴(yán)格要求，避免因氫氣中的雜質(zhì)影響半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量。
2.穩(wěn)定的流量和壓力控制：具備精準(zhǔn)的流量和壓力控制系統(tǒng)，可根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的需求，精確地提供穩(wěn)定的氫氣流量和壓力。這有助于保證半導(dǎo)體制造過程的一致性和穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的良品率。
3.安全可靠：配備多重安全保護(hù)裝置，如過壓保護(hù)、缺水保護(hù)、漏電保護(hù)等。在設(shè)備運(yùn)行過程中，一旦檢測到異常情況，會(huì)立即采取相應(yīng)的保護(hù)措施，確保設(shè)備和操作人員的安全。例如，當(dāng)壓力超過設(shè)定值時(shí)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)或停機(jī)。
4.先進(jìn)的技術(shù)和材料應(yīng)用：采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)，直接電解純水，無需使用堿液，減少了對(duì)設(shè)備的腐蝕，延長了設(shè)備的使用壽命，同時(shí)也避免了堿液帶來的環(huán)境污染問題。此外，儀器內(nèi)部采用含硫量低的硅橡膠圈，有效提高氣體質(zhì)量，保證GC(氣相色譜)基線平穩(wěn)。
5.操作簡便：設(shè)備的操作界面設(shè)計(jì)簡潔明了，操作人員經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可熟練掌握操作方法。部分設(shè)備還具有自動(dòng)化功能，如自動(dòng)補(bǔ)水、自動(dòng)產(chǎn)氣等，降低了人工操作的復(fù)雜度和勞動(dòng)強(qiáng)度。
維護(hù)與服務(wù)
通常具有良好的可維護(hù)性，設(shè)備的關(guān)鍵部件易于更換和維修。同時(shí)，英國普拉勒可能會(huì)為用戶提供完善的售后服務(wù)，包括定期的設(shè)備維護(hù)、技術(shù)支持和培訓(xùn)等，確保設(shè)備始終處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。
